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过滤减少了空气中的分子污染风险
需要严格控制微粒和空气分子污染(amc),以实现高产量、低废品率的半导体制造。
amc的来源包括:
化学废气
来自其他行业和工艺的废气
汽车尾气
季节性因素
amc造成的故障通常分为:
机械效应包括冷却气流阻塞、移动或光学部件干扰以及表面变形。
化学影响包括含硫和含氯盐的灰尘造成电气部件。
电效应包括阻抗变化和电子电路导体桥接。
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玖幸是一家集研发、生产、服务于一体的空气过滤器生产企业