洁净室的净化设备很多，如超高效过滤、、、粗效过滤、高效送风口、自净、层罩、吹淋室、传递窗和气闸以及洁净卫生设备、真空清扫设备等。管好用好这些净化设备是保证洁净室洁净度的重要因素之一
一、过滤器
粗效过滤和中效过滤是为了延长超高效和高效过滤的寿命，除室外空气和循环空气中较大颗粒的灰尘。中效、粗效过滤应根据使用环境和使用目的进行选择。使用时，每个月对该过滤检查一次，看是否达到终阻力以后，就要进行清洗或更换。高效过滤和超高效过滤器是为确保洁净室洁净度而设置的，用来除0.3u或0.1u以上的粒子。它们的选择也决定于室外环境和使用目的。终端过滤进行检漏，以确保密封绝对可靠。使用时应每半年检查一次高效过滤的使用情况，达到终阻力后（一般终阻力为初阻力二倍，在过滤的前后设压差观测）应加以更换。
推荐过滤器更换如下：
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序号 |
名称 |
效率 |
规格尺寸 |
数量 |
单位 |
备注 |
建议更换时限 |
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1 |
初效过滤器 |
45% |
410*595*46
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12 |
个 |
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一个月 |
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2 |
中效过滤器 |
85% |
490*592*300 |
6 |
个 |
|
一个季度 |
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3 |
高效过滤器 |
99.999% |
484*484*29 |
2 |
套 |
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第一次十二个月，
以后十八个月 |
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99.999% |
610*610*29 |
11 |
套 |
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二、局部净化设备
高效过滤送风口、自净器以及层流罩、洁净工作台等是组成洁净室和洁净隧道的关键局部净化设备，在选用、安装、密封、和更换等一定要按使用要求和设备使用说明进行。这些局部净化设备应该在生产操作前5-10分钟启动运行。
三、净化隔断设备
吹淋室是物料进入洁净室前，以高速净化气吹落人体和物体表面灰尘的设施，又是洁净区和非洁净区的分界和屏障。吹淋室的两门应相互锁，不能同时打开（或用自动门）但在事故下不受限制。吹淋风速应大于22米/秒，净空尺寸大小应根据使用目的决定。每天打扫地板、壁面和喷咀，定期监测喷口、出口的风速含尘浓度。
传递窗是物品在洁净区和非洁净区或不同级别的洁净室之间的隔断设备，用来防止非洁净空气污染洁净空气。传递窗的两门应连锁，不能同时打开或设洁净空气帘。
四、洁净卫生设备和真空清扫设备
洁净室最好用洁净卫生间、洁净梳洗室。这些洁净卫生设备可直接设在洁净室内，操作工人不用到洁净区外去方便。这样不仅减少了进出洁净室的更衣和吹淋而且也减少对洁净区的污染。真空清扫设备是清扫洁净室不可缺少的设备。它有集中式真空吸尘泵和分布式真空泵二种。洁净室用的真空清扫设备必须有高效空气过滤。使用时应定期检查真空吸尘泵的真空度，定期测定排气口的含尘浓度是否达到100级。还应定期清理真空吸尘泵的管理系统和积尘器。
五、洁净室的清扫
洁净室的一般清扫，必须在工艺操作结束后进行。如必要在生产前打扫，则工艺操作结束后，产品必须在净化空调系统开机运行时间达到自净时间后方可开始进行。
1、为了防止交叉污染，清扫洁净厂房设施的工具都应为同洁净度等级区域所专用。
2、清扫工具且采用真空清扫设备（集中式或移动式）。如不具备以上条件时，也可采用不掉纤维（如丝光毛巾、尼龙布等）的材料进行擦试。对于高级别的洁净室，擦拭用水宜用过滤后的水。有特别要求的地方，也可采用诸如洒精等有机溶剂进行擦拭。