洁净室的洁净度分级是什么样的？-九游会

1963年，美国颁布洁净室联邦标准fed std 209。在209标准中，洁净室按环境中每立方英尺空间≥0.5um的粉尘最大数量限度分成若干级别，如100级、10,000级、100,000级。

1999年，国际标准化组织iso颁布了洁净室国际标准iso14644-1《洁净室与受控洁净环境，第一部分：空气洁净度分级》，iso规定的洁净度等级以及传统分级的具体数值见下表：

用公式表示上述指标：

cn = 10n3 (0.1/d)2.08

式中： cn = 每立方米空间最大允许大于某粒径颗粒物的数量浓度；

n = iso洁净度分级数；

d = 颗粒物尺度，单位为微米；

0.1 = 常数，单位为微米。

说洁净度应该对应洁净室的状态：空态（已建成，但无设备和人员），静态（设备已就位，但无人员），动态（设备和人员正常运作）。具体工程所说的“洁净度”是指哪种状态，要由用户与设计、供货等方面协议确定。

附：gmp规定的洁净度